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設備開放

[設備]自動變焦三維表面測量儀Zeiss

作者:編輯:鄭忠香發布:2019-06-12點擊量:

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中文名稱:

自動變焦三維表面測量儀

英文名稱

InfiniteFocus Optical 3D surface metrology

儀器編號:

01904379

儀器型號:

Smart Proof 5

生產廠家:

德國普瑞賽斯科技有限公司

放置位置: 裝備制造實驗室

  功能介紹    

隨著越來越多的復雜高精密零部件應用于航空航天、船舶、消費電子等領域,高精密銑削加工受到日益廣泛的研究和應用。研究上述領域關鍵零件精密銑削加工中刀具磨損狀態、工件表面形貌等,是保證零件尺寸精度及表面質量的重要關鍵。Zeiss Smartproof5 共聚焦顯微鏡以其成像質量高、效率快、分辨率高的特點被廣泛應用于高精密機械加工中對零件表面以及刀具的觀測。

  主要技術參數 

1.測量范圍:X/Y/Z 150mm×150mm×5mm

2.測量速度:最大掃描速度達到80mm/s

3.掃描分辨率:2048*2048pixels

4.XY準確度:測量值得±2%以內

5.XY重復性:20nm

6.Z軸準確度:±0.1um±0.008×L(L=測量長度)

7.Z軸重復性:10nm

8.Z軸步進:1nm

  應用示例 

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測量微細刀具刃口幾何形貌

測量微細加工刀具磨損狀態

測量材料表面微觀形貌

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