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設備開放

[設備]三維光學顯微鏡

作者:編輯:鄭忠香發布:2020-12-08點擊量:
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中文名稱:

三維光學顯微鏡

英文名稱:

3D optical microscope

儀器編號:

暫無

儀器型號:

ContourGT-K

生產廠家:

Bruker公司

放置位置:

先進制造大樓東樓D104精密測量實驗室

實驗負責人:

任老師 18064093088

功能簡介

ContourGT-K三維光學顯微鏡完善了表面測量和分析的新標準,這套測量系統擁有工業領先的測量性能和靈活性,采用專利白光干涉技術,超大視野內埃級至毫米級的垂直計量范圍,具有業界最高的垂直分辨率和測量重復性,憑借其獨特的直觀用戶界面和功能最全的自動化檢測、分析功能,方便用戶快速高效的獲得材料粗糙度、二維/三維表面分析以及高分辨成像,廣泛應用于LED、太陽能電池、薄膜材料、MEMS、精密機械零部件、摩擦磨損等各個領域,滿足各種表面測量的實際需求。

高分辨測量成像技術

·最高的垂直分辨率

·最大的垂直計量范圍

·先進的防震設計,提高測試系統穩定性

·高分辨彩色成像

強大的分析測試軟件

·簡單高效,人性化的工作流程

·實時自動優化測量

·完整的數據分析軟件包

·用戶自定義分析報告

技術參數

最大掃描量程

可達10mm

垂直分辨率

<0.01nm

RMS重復性(PSI

0.01nm

橫向分辨率

0.38μm min (Sparrow 準則);0.13μm (AcuityXR?);0.01μm (NanoLens)

臺階高度誤差

<0.75%

臺階高度重復性

<0.1% 1 σ

最大掃描速度

47μm/sec

樣品反射率

0.05% - 100%

最大坡度

40° (光滑面);87° (粗糙面)

樣品高度

100mm(4in.)

XY樣品臺

150mm(6in.)手動或者選擇馬達驅動

Z調焦范圍

100mm(4in.)手動或者選擇馬達驅動

可傾斜掃描頭

±6° 手動

物鏡

Parfocal: 2.5x, 5x, 10x, 20x, 50x, 115x

LWD: 1x, 1.5x, 2x, 5x, 10x

TTM: 2x, 5x, 10x, 20x

Bright field: 2.5x, w5x, 10x, 50x

可用放大鏡

0.55x, 0.75x, 1x, 1.5x, 2x

相機

標配: 640 x 480;

高清(可選):1280 x 960

高清(可選):640 x 480

軟件系統

基于Windows 7 64位操作系統的Vision64 分析軟件

可選軟件包

生產模式; AcuityXR; HD VSI;高速自動對焦; 光學分析包; 高級成像模式; 厚膜測試模式; MatLab; SDK

 

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